uu.seUppsala universitets publikasjoner
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Diamond replicas from microstructured silicon masters
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. MATERIALS SCIENCE.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Materialvetenskap.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Materialvetenskap.
1999 (engelsk)Inngår i: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, ISSN 0924-4247, Vol. 73, nr 1-2, s. 24-29Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

We are developing a microstructure technology for thick film diamond replicas, using deposition by hot filament chemical vapour deposition (CVD) on microstructured silicon. This technology is primarily intended to make micromechanical structures for micro

sted, utgiver, år, opplag, sider
1999. Vol. 73, nr 1-2, s. 24-29
Emneord [en]
diamond; CVD; microstructure; replica; GROWTH; FILMS
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-28717OAI: oai:DiVA.org:uu-28717DiVA, id: diva2:56613
Merknad
Addresses: Bjorkman H, Uppsala Univ, Dept Mat Sci, Box 534, SE-75121 Uppsala, Sweden. Uppsala Univ, Dept Mat Sci, SE-75121 Uppsala, Sweden.Tilgjengelig fra: 2007-02-28 Laget: 2007-02-28 Sist oppdatert: 2011-01-14

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Personposter BETA

Hjort, Klas

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Hjort, Klas
Av organisasjonen

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetric

urn-nbn
Totalt: 839 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf