Logo: to the web site of Uppsala University
uu.se
Publikasjoner fra Uppsala universitet
vente ...
Enkelt søk
Avansert søk -
Forskningspublikasjoner
Avansert søk -
Studentoppgaver
Statistikk
English
Svenska
Norsk
Jump to content
Endre søk
Søk
Søk
Kun dokumenter med fulltekst i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-258530
Direct link
http://uu.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:841885
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Preferential sputtering of silicon from metal silicides at elevated temperatures
Hedlund, C
Carlsson, P
Blom, Hans-Olof
Katardjiev, Ilia V
Berg, Sören
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik.
Vise andre og tillknytning
1993 (engelsk)
Konferansepaper, Publicerat paper (Fagfellevurdert)
sted, utgiver, år, opplag, sider
1993.
HSV kategori
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:uu:diva-258530
OAI: oai:DiVA.org:uu-258530
DiVA, id:
diva2:841885
Konferanse
40th International SYmposium of the American Vacuum Society, Orlando, FL, USA
Tilgjengelig fra:
2015-07-15
Laget:
2015-07-15
Sist oppdatert:
2015-07-15
Open Access i DiVA
Fulltekst mangler i DiVA
Av organisasjonen
Om emnet
Søk utenfor DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetric
urn-nbn
Totalt: 728 treff
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-258530
Direct link
http://uu.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:841885
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.41.0
|
WCAG (svensk)
|
Uppsala universitetsbibliotek
|
Spør biblioteket
|
DiVA Logg in
|
Søk og lenke i DiVA (svensk)
DiVA
Logotyp