Logotyp: till Uppsala universitets webbplats

uu.sePublikationer från Uppsala universitet
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
150 mm Silicon-on-polycrystalline-Silicon Carbide
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik. (Komponentgruppen)
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik. (Komponentgruppen)
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik. (Komponentgruppen)
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik. (Komponentgruppen)
Visa övriga samt affilieringar
2010 (Engelska)Ingår i: Proceedings of EUROSOI: Sixth Workshop of the Thematic Network on Silicon-On-Insulator / [ed] Sorin Cristoloveanu, Olivier Faynot, 2010, s. 101-102Konferensbidrag, Muntlig presentation med publicerat abstract (Refereegranskat)
Abstract [en]

150 mm Silicon-on-polycrystallin-Silicon Carbie (poly-SiC) bybrid substrate, without intermediate oxide layers have been realised by hydrophilic wafer bonding of SOI- and poly-SiC wafers. A novel rapid thermal treatment step was introduced before furnace annealing to avoid bubble formation, cracks and breakage. After removal of the Si handle and the buried oxide, the reamining Si device layer was shown to be stress free by Raman spectroscopy and X-ray diffraction (XRD) measurements.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2010. s. 101-102
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-120565OAI: oai:DiVA.org:uu-120565DiVA, id: diva2:303614
Konferens
EUROSOI 2010
Tillgänglig från: 2010-03-15 Skapad: 2010-03-15 Senast uppdaterad: 2016-04-19

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Person

Vallin, ÖrjanLi, LingguangNorström, HansSmith, UlfOlsson, Jörgen

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Vallin, ÖrjanLi, LingguangNorström, HansSmith, UlfOlsson, Jörgen
Av organisationen
Fasta tillståndets elektronikFasta tillståndets elektronik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 952 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf