Logotyp: till Uppsala universitets webbplats

uu.sePublikationer från Uppsala universitet
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Influence of surface preparation on atomic layer deposition of Pt films
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina.
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik.
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina.
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: Journal of Semiconductors, ISSN 1674-4926, Vol. 33, nr 8, s. 083003-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2012. Vol. 33, nr 8, s. 083003-
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Forskningsämne
Teknisk fysik med inriktning mot elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-180128DOI: 10.1088/1674-4926/33/8/083003OAI: oai:DiVA.org:uu-180128DiVA, id: diva2:548252
Tillgänglig från: 2012-08-30 Skapad: 2012-08-30 Senast uppdaterad: 2012-09-27Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Person

Zhu, ZhiweiZhang, Shi-Li

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Zhu, ZhiweiZhang, Shi-Li
Av organisationen
Fasta tillståndets elektronik
Elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 841 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf