uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Diamond replicas from microstructured silicon masters
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. MATERIALS SCIENCE.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Materialvetenskap.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Fysiska sektionen, Institutionen för fysik och materialvetenskap, Materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Materialvetenskap.
1999 (Engelska)Ingår i: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, ISSN 0924-4247, Vol. 73, nr 1-2, s. 24-29Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We are developing a microstructure technology for thick film diamond replicas, using deposition by hot filament chemical vapour deposition (CVD) on microstructured silicon. This technology is primarily intended to make micromechanical structures for micro

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1999. Vol. 73, nr 1-2, s. 24-29
Nyckelord [en]
diamond; CVD; microstructure; replica; GROWTH; FILMS
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-28717OAI: oai:DiVA.org:uu-28717DiVA, id: diva2:56613
Anmärkning
Addresses: Bjorkman H, Uppsala Univ, Dept Mat Sci, Box 534, SE-75121 Uppsala, Sweden. Uppsala Univ, Dept Mat Sci, SE-75121 Uppsala, Sweden.Tillgänglig från: 2007-02-28 Skapad: 2007-02-28 Senast uppdaterad: 2011-01-14

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Hjort, Klas

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hjort, Klas
Av organisationen
Institutionen för materialvetenskapMaterialvetenskapElektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 839 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf