uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Effect of gas and cathode material on the r.f. hollow cathode reactive PVD
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
1999 (Engelska)Ingår i: SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, ISSN 0257-8972, Vol. 121, s. 704-708Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The process of generation of the radio frequency (r.f.) hollow cathode discharge was examined for different gases and different materials of the r.f. electrode. The delivered r.f. power range used in the experiments enabled analysis of the hollow cathode

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1999. Vol. 121, s. 704-708
Nyckelord [en]
AlN; Al2O3; PVD; radio frequency hollow cathode discharge; DEPOSITION; TITANIUM
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-84609OAI: oai:DiVA.org:uu-84609DiVA, id: diva2:112517
Anmärkning
Addresses: Barankova H, Univ Uppsala, Angstrom Lab, Box 534, S-75121 Uppsala, Sweden. Univ Uppsala, Angstrom Lab, S-75121 Uppsala, Sweden.Tillgänglig från: 2007-02-28 Skapad: 2007-02-28 Senast uppdaterad: 2011-01-14

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, Ladislav

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, Ladislav
Av organisationen
Institutionen för materialvetenskapElektronik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 1128 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf