uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Characterization of the linear arc discharge (LAD) source for film deposition
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
1997 (Engelska)Ingår i: SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, ISSN 0257-8972, Vol. 94-5, nr 1-3, s. 578-582Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The linear arc discharge (LAD) source is a parallel plate hollow cathode with a magnetic field perpendicular to the plates near the outlet slit of the cathode. The hollers cathode discharge is generated by radio frequency (rf) power and is confined mainly

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1997. Vol. 94-5, nr 1-3, s. 578-582
Nyckelord [en]
linear arc discharge; film deposition; HOLLOW-CATHODE DISCHARGE
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-84705OAI: oai:DiVA.org:uu-84705DiVA, id: diva2:112613
Anmärkning
Addresses: Barankova H, Univ Uppsala, Angstrom Lab, Box 534, S-75121 Uppsala, Sweden. Univ Uppsala, Angstrom Lab, S-75121 Uppsala, Sweden.Tillgänglig från: 2007-03-02 Skapad: 2007-03-02 Senast uppdaterad: 2011-01-15

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören
Av organisationen
Institutionen för materialvetenskapElektronik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 1168 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf