uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
The radio frequency hollow cathode plasma jet arc for the film deposition
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
1996 (Engelska)Ingår i: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, ISSN 0734-2101, Vol. 14, nr 6, s. 3033-3038Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The radio frequency hollow cathode plasma jet (RPJ or RHCPJ) are discharge is studied for an activated reactive deposition of TiN films. The presence of low content of nitrogen in argon enables reaching the are regime at lower powers than in pure argon. T

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1996. Vol. 14, nr 6, s. 3033-3038
Nyckelord [en]
DISCHARGE; TITANIUM
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-84717OAI: oai:DiVA.org:uu-84717DiVA, id: diva2:112625
Anmärkning
Addresses: Barankova H, UNIV UPPSALA, ANGSTROM CONSORTIUM THIN FILM PROC, S-75121 UPPSALA, SWEDEN.Tillgänglig från: 2007-03-05 Skapad: 2007-03-05 Senast uppdaterad: 2011-01-15

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören
Av organisationen
Institutionen för materialvetenskapElektronik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 1194 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf