uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Abnormal High Rate Deposition of TiN Films by the Radio Frequency Plasma Jet System
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. Institutionen för teknikvetenskaper, Elektronik. Fasta tillståndets elektronik.
1995 (Engelska)Ingår i: J Electrochem Soc, ISSN 0013-4651, Vol. 142, nr 3, s. 883-887Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Radio frequency Ar and Ar + N-2 plasma jets generated in a hollow electrode terminated by a small size Ti nozzle were used for deposition of Ti and TiN films. The regime with low content of reactive gas resulted in an extreme enhancement of TiN deposition

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1995. Vol. 142, nr 3, s. 883-887
Nyckelord [en]
HOLLOW-CATHODE DISCHARGE
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-84726OAI: oai:DiVA.org:uu-84726DiVA, id: diva2:112634
Anmärkning
Addresses: BARANKOVA H, UPPSALA UNIV, ANGSTROM CONSORTIUM THIN FILM PROC, S-75121 UPPSALA, SWEDEN. UPPSALA UNIV, DEPT ELECTR, S-75121 UPPSALA, SWEDEN.Tillgänglig från: 2007-03-07 Skapad: 2007-03-07 Senast uppdaterad: 2011-01-15

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, LadislavBerg, Sören
Av organisationen
Institutionen för materialvetenskapElektronik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 1081 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf