uu.seUppsala universitets publikasjoner
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Carbon nanopillar array deposition on SiO2 by ion irradiation through a porous alumina template
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Mikrostrukturteknik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Kemiska sektionen, Institutionen för materialkemi.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Tillämpad materialvetenskap.
Vise andre og tillknytning
2007 (engelsk)Inngår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 82, nr 3, s. 359-362Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

A method for producing ordered carbon nanopillar arrays is presented. The method is based on ion irradiation through a small anodic porous alumina membrane, resulting in carbon deposition within the centers of the pores on a gold covered SiO2/Si substrate. Samples were irradiated by 4 MeV Cl2+ ions with fluences of . The combined use of pick’n place positioning of the small porous alumina templates and ion beam irradiation is well suited for post-processing on silicon based integrated circuits. It provides fast local deposition at low temperature of high-density ordered carbon nanopillar arrays in larger silicon based systems, e.g., for field emitting or biosensors applications.

sted, utgiver, år, opplag, sider
2007. Vol. 82, nr 3, s. 359-362
Emneord [en]
SiO2, Carbon nanostructures, Carbon pillars, Ion lithography, Ion irradiation, Anodic porous alumina membrane
HSV kategori
Forskningsprogram
Jonfysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-12714DOI: 10.1016/j.vacuum.2007.05.002ISI: 000251186800009OAI: oai:DiVA.org:uu-12714DiVA, id: diva2:40483
Tilgjengelig fra: 2008-10-06 Laget: 2008-10-06 Sist oppdatert: 2017-12-11bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Personposter BETA

Hjort, KlasBoman, MatsPossnert, GöranJensen, Jens

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Hjort, KlasBoman, MatsPossnert, GöranJensen, Jens
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Vacuum

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 1343 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf