uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Comparison of pulsed dc and rf hollow cathode depositions of Cr and CrN films
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Elektricitetslära.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Elektricitetslära.
2011 (Engelska)Ingår i: Surface & Coatings Technology, ISSN 0257-8972, E-ISSN 1879-3347, Vol. 205, nr 17-18, s. 4169-4176Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

A cylindrical chromium hollow cathode powered by a pulsed dc generator working in a constant power mode was used for PVD of chromium and chromium nitride films on silicon substrates in argon and nitrogen plasmas, respectively. A comparison of the pulsed dc process with the radio frequency hollow cathode depositions of Cr and CrN films at identical power levels shows considerable differences particularly in the deposition rate of Cr films. At the pulsed power above 250 W the hot cathode/diffuse arc regimes were reached with the cathode outlet temperature as high as 1300 degrees C and the maximum deposition rates of both Cr and CrN films exceeded 1 mu m/min. The resulting film properties, e.g. the microstructure and morphology were studied and compared with the films obtained by the rf hollow cathode PVD.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2011. Vol. 205, nr 17-18, s. 4169-4176
Nyckelord [en]
Diffuse arc deposition, Pulsed dc hollow cathode, Radio frequency hollow cathode, Chromium nitride (CrN), Chromium (Cr)
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap Teknik och teknologier
Forskningsämne
Teknisk fysik med inriktning mot elektricitetslära
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-155211DOI: 10.1016/j.surfcoat.2011.03.013ISI: 000291295200007OAI: oai:DiVA.org:uu-155211DiVA, id: diva2:425788
Tillgänglig från: 2011-06-22 Skapad: 2011-06-20 Senast uppdaterad: 2017-12-11Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, Ladislav

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, Ladislav
Av organisationen
Elektricitetslära
I samma tidskrift
Surface & Coatings Technology
NaturvetenskapTeknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 564 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf