uu.seUppsala universitets publikasjoner
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Optical properties of thin films of mixed Ni–W oxide made by reactive DCmagnetron sputtering
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets fysik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets fysik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets fysik.
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets fysik.ORCID-id: 0000-0002-8279-5163
Vise andre og tillknytning
2011 (engelsk)Inngår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 519, nr 9, s. 2914-2918Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

Thin films of NixW1−x oxides with x=0.05, 0.19, 0.43 and 0.90 were studied. Films with thicknesses in the range 125–250 nm were deposited on silicon wafers at room temperature by reactive DC magnetron co-sputtering from targets of Ni and W. The films were characterized with X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), and spectroscopic ellipsometry (SE). XRD spectra and SEMmicrographs showed that all films were amorphous and possessed a columnar structure. The ellipsometric angles Ψ and Δ of as-deposited films were measured by a rotating analyzer ellipsometer in the UV–visible-near infrared range (0.63–6.18 eV) and by an infrared Fourier transform rotating compensator ellipsometer in the 500–5200 cm−1 wavenumber range. SE measurementswere performed at angles of incidence of from50 ° to 70 °. Parametricmodelswere used to extract thicknesses of the thin films and overlayers of NixW1−x oxide at different compositions, band gaps and optical constants. Features in the optical spectra of the NixW1−x oxideswere compared with previous data on tungsten oxide, nickel oxide and nickel tungstate.

sted, utgiver, år, opplag, sider
2011. Vol. 519, nr 9, s. 2914-2918
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-178579DOI: 10.1016/j.tsf.2010.11.089OAI: oai:DiVA.org:uu-178579DiVA, id: diva2:542358
Tilgjengelig fra: 2012-07-31 Laget: 2012-07-31 Sist oppdatert: 2018-08-30bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Andre lenker

Forlagets fulltekstJournal homepage

Personposter BETA

Valyukh, IrynaGreen, SaraGranqvist, Claes-GöranNiklasson, Gunnar

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Valyukh, IrynaGreen, SaraGranqvist, Claes-GöranNiklasson, Gunnar
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Thin Solid Films

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 793 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf