uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Understanding the discharge current behavior in reactive high power impulse magnetron sputtering of oxides
Visa övriga samt affilieringar
2013 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 113, nr 13, s. 133302-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The discharge current behavior in reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of Ti-O and Al-O is investigated. It is found that for both metals, the discharge peak current significantly increases in the oxide mode in contrast to the behavior in reactive direct current magnetron sputtering where the discharge current increases for Al but decreases for Ti when oxygen is introduced. In order to investigate the increase in the discharge current in HiPIMS-mode, the ionic contribution of the discharge in the oxide and metal mode is measured using time-resolved mass spectrometry. The energy distributions and time evolution are investigated during the pulse-on time as well as in the post-discharge. In the oxide mode, the discharge is dominated by ionized oxygen, which has been preferentially sputtered from the target surface. The ionized oxygen determines the discharge behavior in reactive HiPIMS.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2013. Vol. 113, nr 13, s. 133302-
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Forskningsämne
Teknisk fysik med inriktning mot elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-199705DOI: 10.1063/1.4799199ISI: 000317238000006OAI: oai:DiVA.org:uu-199705DiVA, id: diva2:621141
Tillgänglig från: 2013-05-13 Skapad: 2013-05-13 Senast uppdaterad: 2017-12-06Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Kubart, Tomas

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Kubart, Tomas
Av organisationen
Fasta tillståndets elektronik
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 1415 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf