uu.seUppsala universitets publikasjoner
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical properties of the TiSi2-Si transition region in contacts: The influence of an interposed layer of Nb
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. MATERIALS SCIENCE/MST.
Vise andre og tillknytning
2001 (engelsk)Inngår i: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, ISSN 0021-8979, Vol. 90, nr 5, s. 2380-2388Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

The influence of an interposed ultrathin Nb layer between Ti and Si on the silicide formation and the electrical contact between the silicide formed and the Si substrate is investigated. The presence of the Nb interlayer results in the formation of ternar

sted, utgiver, år, opplag, sider
AMER INST PHYSICS , 2001. Vol. 90, nr 5, s. 2380-2388
Emneord [en]
C54 PHASE; ENHANCED FORMATION; SILICON; TRANSFORMATION; TEMPERATURE; RESISTIVITY; FILMS; ACTIVATION; MOLYBDENUM; RESISTANCE
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-37463OAI: oai:DiVA.org:uu-37463DiVA, id: diva2:65362
Merknad
Addresses: Aberg J, Kungliga Tekn Hgsk, Electrum 229, Dept Microelect & Informat Technol, SE-16440 Kista, Sweden. Kungliga Tekn Hgsk, Electrum 229, Dept Microelect & Informat Technol, SE-16440 Kista, Sweden. Ericsson Microelect AB, Dept Mat Sci, SE-16481Tilgjengelig fra: 2008-10-17 Laget: 2008-10-17 Sist oppdatert: 2011-01-14

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Av organisasjonen

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetric

urn-nbn
Totalt: 626 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf