uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical properties of the TiSi2-Si transition region in contacts: The influence of an interposed layer of Nb
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för materialvetenskap. MATERIALS SCIENCE/MST.
Visa övriga samt affilieringar
2001 (Engelska)Ingår i: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, ISSN 0021-8979, Vol. 90, nr 5, s. 2380-2388Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The influence of an interposed ultrathin Nb layer between Ti and Si on the silicide formation and the electrical contact between the silicide formed and the Si substrate is investigated. The presence of the Nb interlayer results in the formation of ternar

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
AMER INST PHYSICS , 2001. Vol. 90, nr 5, s. 2380-2388
Nyckelord [en]
C54 PHASE; ENHANCED FORMATION; SILICON; TRANSFORMATION; TEMPERATURE; RESISTIVITY; FILMS; ACTIVATION; MOLYBDENUM; RESISTANCE
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-37463OAI: oai:DiVA.org:uu-37463DiVA, id: diva2:65362
Anmärkning
Addresses: Aberg J, Kungliga Tekn Hgsk, Electrum 229, Dept Microelect & Informat Technol, SE-16440 Kista, Sweden. Kungliga Tekn Hgsk, Electrum 229, Dept Microelect & Informat Technol, SE-16440 Kista, Sweden. Ericsson Microelect AB, Dept Mat Sci, SE-16481Tillgänglig från: 2008-10-17 Skapad: 2008-10-17 Senast uppdaterad: 2011-01-14

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Av organisationen
Institutionen för materialvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 575 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf