uu.seUppsala universitets publikasjoner
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Anisotropic etching of Z-cut quartz
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Fasta tillståndets elektronik.
1993 (engelsk)Inngår i: Journal of Micromechanics and Microengineering, ISSN 0960-1317, E-ISSN 1361-6439, Vol. 3, s. 65-73Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
sted, utgiver, år, opplag, sider
1993. Vol. 3, s. 65-73
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-258528OAI: oai:DiVA.org:uu-258528DiVA, id: diva2:841881
Tilgjengelig fra: 2015-07-15 Laget: 2015-07-15 Sist oppdatert: 2017-12-04

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Journal of Micromechanics and Microengineering

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetric

urn-nbn
Totalt: 727 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf