uu.seUppsala universitets publikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Magnetized hollow cathode activated magnetron
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Elektricitetslära. BB Plasma Design AB, SE-75643 Uppsala, Sweden..
Uppsala universitet, Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet, Tekniska sektionen, Institutionen för teknikvetenskaper, Elektricitetslära. BB Plasma Design AB, SE-75643 Uppsala, Sweden..
BB Plasma Design AB, SE-75643 Uppsala, Sweden..
2015 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 107, nr 15, artikel-id 153501Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Planar magnetron in which the target is coupled with a magnetized hollow cathode is presented. Detailed principles of such arrangements are explained. The hollow cathode activated magnetron produces intense and stable plasmas in a wider interval of the working gas pressures as compared to the conventional magnetrons at the same power. The developed arrangements enhance sputtering from the magnetron target by the high-density hollow cathode plasma and increase the number of sputtered/evaporated species. Results of the test experiments of these arrangements on a commercial planar magnetron with the Ti target are presented and their capabilities discussed.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2015. Vol. 107, nr 15, artikel-id 153501
Nationell ämneskategori
Fysik Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:uu:diva-267221DOI: 10.1063/1.4933091ISI: 000363424000050OAI: oai:DiVA.org:uu-267221DiVA, id: diva2:872452
Tillgänglig från: 2015-11-19 Skapad: 2015-11-19 Senast uppdaterad: 2017-12-01Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Barankova, HanaBardos, Ladislav

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Barankova, HanaBardos, Ladislav
Av organisationen
Elektricitetslära
I samma tidskrift
Applied Physics Letters
FysikTeknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 508 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf